產(chǎn)品詳細(xì)介紹
硅片清洗機產(chǎn)品介紹:
硅片清洗加工設(shè)備,可廣泛用于IC生產(chǎn)和半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)中晶片的濕法化學(xué)工藝。
型號:HCDX--XXX---XX系列,品牌:海春達(dá)信。
該設(shè)備可有效去除硅片表面的有機物.顆粒.金屬雜質(zhì).自然氧化層及石英.塑料等附件器皿的污染物,且不破壞晶片表面特性。可用于擴(kuò)散前..光刻后.CMP后及氧化前等工藝的清洗工作。例如:RCA清洗.SPM清洗.SC清洗.等。供應(yīng)全自動硅片清洗機和手動硅片清洗機,半手動硅片清洗機等 |