產(chǎn)品詳細(xì)介紹
硅片腐蝕機(jī)技術(shù)特點(diǎn):
概述:硅片腐蝕機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝中對(duì)硅片周邊進(jìn)行濕法化學(xué)腐蝕形成均勻一致的斜角,本硅片腐蝕機(jī)設(shè)備技術(shù)先進(jìn),適用于規(guī)模生產(chǎn)。
本設(shè)備是由電氣控制,機(jī)架,箱體,清洗槽,機(jī)械手,伺服系統(tǒng),層流凈化,管路部分組成。
清洗槽是由去離子水洗槽,有機(jī)溶劑槽,酸槽,或堿槽構(gòu)成。
硅片腐蝕機(jī)管路部分為保證工作介質(zhì)的潔凈和避免雜質(zhì)析出,特采用進(jìn)口氣動(dòng)閥,PFA,PVDF,管道,全氟循環(huán)系統(tǒng)。
除裝片和取片外,其余工藝均可自動(dòng)完成。
電控部分:人機(jī)界面為觸摸屏,方便美觀。 |