激光橢偏測(cè)厚儀器 - 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

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激光橢偏測(cè)厚儀器

最后更新：2010-12-22
關(guān) 注度：5739
生產(chǎn)企業(yè)：北京創(chuàng)盈達(dá)科技有限公司

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產(chǎn)品詳細(xì)介紹

【所屬類別】光學(xué)測(cè)量產(chǎn)品　　激光橢偏測(cè)厚儀器

【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】

HST-1/3多功能橢偏測(cè)厚儀器是我公司最近推出的教學(xué)科研儀器系列產(chǎn)品之一，主要用于固體表面納米級(jí)薄膜厚度和折射率、金屬的復(fù)折射率。此外，還可以用于研究固體表面及其膜層的光學(xué)特性，在半導(dǎo)體、金屬材料、光學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)及醫(yī)學(xué)領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。

特點(diǎn)：

      使用方便，簡(jiǎn)單；
      測(cè)量精度可達(dá)±0.5nm和±0.01;
      全自動(dòng)化，電腦操作，性價(jià)比高；

【技術(shù)參數(shù)】

    測(cè)量薄膜厚度范圍：1～300nm（70°入射角，一個(gè)周期），折射率范圍：05～2.50；
    起偏角 P 和 A 的讀取分辨為0.05°，范圍0～180°；
    測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為±0.5nm和±0.01;
    入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍：30°～90°；
    入射光波長(zhǎng)：635.0nm;
    樣品真空吸附裝置且可一維掃描（選件）。

【產(chǎn)品方案】

　　橢圓偏振法簡(jiǎn)稱橢偏法，是一種先進(jìn)的測(cè)量薄膜納米級(jí)厚度的方法。橢偏法的基本原理由于數(shù)學(xué)處理的困難，直到本世紀(jì)40年代計(jì)算機(jī)出現(xiàn)以后才發(fā)展起來(lái)。橢偏法的測(cè)量經(jīng)過(guò)幾十年來(lái)的不斷改進(jìn)，已從手動(dòng)進(jìn)入到全自動(dòng)、變?nèi)肷浣恰⒆儾ㄩL(zhǎng)和實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，極大地促進(jìn)了納米技術(shù)的發(fā)展。橢偏法的測(cè)量精度很高（比一般的干涉法高一至二個(gè)數(shù)量級(jí)），測(cè)量靈敏度也很高（可探測(cè)生長(zhǎng)中的薄膜小于0.1nm的厚度變化）。利用橢偏法可以測(cè)量薄膜的厚度和折射率，也可以測(cè)定材料的吸收系數(shù)或金屬的復(fù)折射率等光學(xué)參數(shù)。因此，橢偏法在半導(dǎo)體材料、光學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)和醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

　　系統(tǒng)連接結(jié)構(gòu)示意圖

1.主機(jī)接口 2.電腦接口 3.電源插座 4.保險(xiǎn)絲 5.編碼器 6.光電接收器 7.檢偏器 8.樣品平臺(tái) 9.電機(jī) 10.1/4λ波片 11.BNC接口 12.起偏器 13.激光器 14.電腦主機(jī)

北京創(chuàng)盈達(dá)科技有限公司

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