中科院上海硅酸鹽研究所研制的掃描電聲顯微鏡獲得05年國家技術發(fā)明二等獎和06年國際工業(yè)博覽會銀獎。已出口到德國、美國等多個國家，并裝備國內有關大學和研究機構。

    基于多年的技術積累，上海硅酸鹽研究所又成功開拓了掃描探針聲學顯微鏡（Scanning Probe Acoustic Microscope，SPAM），并和上海卓倫微納米設備有限公司合作，應用卓倫先進的SPM通用平臺技術，將SPAM成功加載到ZL-SPM系列產(chǎn)品上，完成了SPAM商品化拓展。

    SPAM具有獨特的成像機理和非破壞性內部成像能力，在光電子材料、半導體材料、薄膜材料、集成電路和生物樣品上獲得了成功的應用，在國內外重要期刊上發(fā)表相關論文40余篇，專著一本，獲得國家發(fā)明專利二項，并多次在國際會議上作大會特邀報告和邀請報告，掃描探針聲成像技術及其應用成果在國際上獲得高度評價。

    SPAM克服了現(xiàn)有SPM只能獲得材料表面結構和性質的不足，實現(xiàn)了材料表面及亞表面結構和物性的原位實時檢測，為在納米尺度上開展材料亞表面結構和性質及其相互關系的研究提供新的技術平臺。

    SPAM是掃描探針顯微鏡家族的新成員，具有重要的應用前景。它對于納米生物學、納米電子學、納米化學及納米加工技術的發(fā)展必將起到有力的推動作用。
 
　
ZL Ac-II 基本原理：

SPAM的成像機理是基于樣品微觀點電學或者聲學性能的變化。

在SPM探針和樣品表面之間引入一交變作用力，形成納米尺度聲源并在樣品內部傳播，攜帶著試樣亞表面結構和物性信息的聲信號經(jīng)與試樣耦合的高靈敏度探測器轉換成電信號，利用弱信號探測技術和SPM的信號通道，并經(jīng)計算機進行信號和圖像處理，從而獲得反映材料亞表面納米尺度結構和性能的聲學像。

SPAM是在電聲成像技術的基礎上，將低頻聲學技術和原子力顯微鏡技術相結合的一種新型顯微成像技術。它突破了聲學成像分辨率取決于聲波波長的傳統(tǒng)概念，具有低頻、高分辨率、亞表面成像本領和圖像清晰等特點。它可以適用于極性材料和非極性材料，并可原位同時觀察與樣品微觀結構、局域彈性和內部缺陷有關的形貌像和聲學像。
 
　
ZL Ac-II 成像特點：

1、獨特性：能夠獲得反映材料亞表面納米尺度結構的聲學像和性能的原位檢測
2、穿透性：非破壞性觀察物質內部信息
3、多功能性：性能研究、結構分析、缺陷檢測融為一體
 
　
ZL Ac-II 技術指標：必須配套ZL 3000型使用

1、成像模式：聲學像和形貌像
2、成像方式：AFM接觸模式
3、分辨率：≤10nm
4、工作頻率：300Hz~30kHz
5、工作電壓：1~3V