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INFICON UL1000 型氦檢漏儀尤其適用于元件精確檢漏的要求，靈活性測試，高靈敏度，快速于精確的結(jié)果，快速啟動，移動性和系統(tǒng)的可靠性。
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UL1000符合做微電子工業(yè)市場的要求。其特點從堅固的金屬外殼并帶有適用于潔凈室的輪子，還有I-CAL(智能化漏率計算系統(tǒng)),無與倫比的 噪聲抑制濾波，柔性均值算法和漂移抑制功能。用于消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長時間 平衡的程序。
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系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的先進(jìn)自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)性功能。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
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UL1000具有可轉(zhuǎn)動的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。
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應(yīng)用：
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 半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù)，該設(shè)備本身帶或未帶有真空泵 |
工藝氣體系統(tǒng)的檢測與安裝
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元器件在組裝前的漏率測試
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要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應(yīng)用場合
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技術(shù)參數(shù)
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最小可檢漏率（按AVS2.1和EN1518標(biāo)準(zhǔn)）
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＜5×10-12mbar.l/s
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最小可檢漏率（吸入器模式）
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＜3×10-8mbar.l/s
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入口壓強(qiáng) 粗檢模式
精檢模式
超精檢模式
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15 mbar
2 mbar
0.4 mbar
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在抽空過程中的抽速
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25立方米/小時
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入口壓強(qiáng)對氦氣抽速 粗檢模式
精檢模式
超精檢模式
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8 升/秒
7升/秒
2.5升/秒
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可檢質(zhì)量數(shù)
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2、3、4amu, 氫，3氦，氦
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電源電壓
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110－120V；220－241V
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重量
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110公斤；242磅
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尺寸，包括手把（長×寬×高）
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1068×525×850毫米
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