產(chǎn)品詳細介紹SQC310石英晶體膜厚控制儀系列為您提供其它生產(chǎn)廠薄膜控制儀所沒有的性能與特色。同時可為您的應(yīng)用選擇理想的模式:順序鍍膜(SQC310)或共鍍膜(SQC310C)。用于順序鍍膜,SQC310石英晶體膜厚控制儀裝備有2個傳感器輸入,2個源輸出,和8個數(shù)字輸入/輸出,提供為這些數(shù)量加倍的擴展插件板選件用于共鍍膜,SQC310石英晶體膜厚控制儀監(jiān)測多至4個石英晶體傳感器,帶有4個PID控制輸出,16個數(shù)字輸入,和16個繼電器輸出,與SQC310的規(guī)范相同。
■高亮度,VGA活性點陣彩色LCD顯示器–可顯示英文或中文。
■標準RS-232和USB(有以太網(wǎng)選件)。
■易設(shè)置和操作,有“快速設(shè)置”菜單,6個上下文-敏感的按鈕,和方便的參數(shù)設(shè)定旋鈕。
■Window程序用于開發(fā),測試,和下載工藝過程,和將儀器數(shù)據(jù)記錄至您的PC上,用于過程分析與質(zhì)量控制。
■精確的過程控制,尤其用于低淀積率,在10讀值/秒時的分辨率為±0.03Hz,在0至50°C溫度范圍內(nèi)的頻率穩(wěn)定性為±2ppm。
■貯存容量高至100個工藝過程,1,000個膜層,50個膜系。
■用單傳感器或多傳感器監(jiān)測源材料,提供精確的源分布監(jiān)測。 |