產(chǎn)品詳細介紹大功率桌面濺射儀,采用小電流高電壓,大功率1000w,配有水冷機接口,可長時間運行。該產(chǎn)品為臺式磁控濺射鍍膜機,能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑ˋu),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內(nèi)即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊,全自動控制,設(shè)計符合人體工程學(xué),所得結(jié)果一致,可重復(fù)性高。 主要特點:輕便、濺射面積大靶材可按用戶要求加工制作 小型蒸鍍儀鄭州科探儀器技術(shù)資料 控制方式 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 加熱方式 數(shù)字式功率調(diào)整器 鍍膜功能 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 功率 ≤1200W 輸出電壓電流 電壓≤12V 電流≤120A 真空度 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa 擋板類型 電控 真空腔室 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm 樣品臺 可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底) 樣品臺轉(zhuǎn)速 8轉(zhuǎn)/分鐘 樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離 70-140mm 蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) ≤1800℃ 支持蒸發(fā)坩堝類型 鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩 預(yù)留真空接口 KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 可選配擴展 機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數(shù)顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa)
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會員級別:免費會員 |
加入時間:2024-06-12
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