產(chǎn)品詳細(xì)介紹(1)、X軸有效行程:750mm ,Y 軸有效行程:750mm ,Z軸有效行程:150mm (2)、X軸重復(fù)定位精度:≤+/-2um;Y軸重復(fù)定位精度:≤+/-2um;Z軸定重復(fù)定位精度:≤+/-2um (3)、X/Y/Z軸最大速度:1m/s,加速度:1G; (4)、負(fù)載:10KG (5)、使用環(huán)境:真空度 10-7Torr (6)、平臺(tái)基座采用金屬合金,精度高,外形美觀。 (7)、X軸(底座)、Y軸(中軸)和Z軸均采用真空直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),運(yùn)動(dòng)特性好,技術(shù)成熟,系統(tǒng)穩(wěn)定。電機(jī)可以10 - 7托真空情況下正常使用。 |
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會(huì)員級(jí)別:免費(fèi)會(huì)員 |
加入時(shí)間:2019-07-23
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