納米級精密定位臺(微位移平臺 可定制構(gòu)型)
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最后更新:2018-04-17
關(guān) 注 度:3182
生產(chǎn)企業(yè):蘇州邁客榮自動化技術(shù)有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹 主要產(chǎn)品系列:一維直驅(qū)式、一維放大式、一維Z向式、一維小體積式、一維中空式、一維L式物鏡臺、一維U式物鏡臺、二維集成式、二維模塊式、三維集成式、三維模塊式、三維并聯(lián)式、六維并聯(lián)式。 納米級精密定位工作臺以壓電陶瓷致動器為核心驅(qū)動元件,通過柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)進(jìn)行無間隙的微位移傳動,運(yùn)動范圍在幾十微米到幾百微米,運(yùn)動分辨率和重復(fù)定位精度在納米級。主要應(yīng)用于精密進(jìn)給系統(tǒng)、精密位移補(bǔ)償、精微操作、MEMS技術(shù)、生物工程、細(xì)胞操作、微刻蝕、掃描隧道顯微鏡、光學(xué)調(diào)整、電化學(xué)加工等領(lǐng)域。
主要特點(diǎn): 采用壓電陶瓷驅(qū)動; 納米級位移分辨率; 重復(fù)定位精度高; 優(yōu)良的頻率響應(yīng)特性; 采用計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)動結(jié)構(gòu); 可內(nèi)置電阻應(yīng)變片式微位移傳感器,方便實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制; 機(jī)體材料可選擇鋁合金、Invar合金等,適用于不同的應(yīng)用場合; 采用電火花、線切割等加工工藝,以嚴(yán)格保證加工精度; 采用先進(jìn)的表面處理工藝,提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力; 運(yùn)動自由度從一維到六維,行程10~400微米,形成多系列產(chǎn)品。 |
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加入時(shí)間:2016-01-04
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