產(chǎn)品詳細介紹
一、 儀器特點:
1. 非接觸式光學(xué)測量方式,對樣品表面無損傷。
2. 測試時間短, 垂直方向上可達亞納米級分辨率。
3. 快速、準確測量多個樣品 ,實現(xiàn)高速材料表面表征。
4. 廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,樣品的反射率從0.1%至100%均可測量。
5. 操作非常簡單。
6. 高分辯、高速測量、高重復(fù)性、高可靠性的完美結(jié)合
7. 功能強大、行業(yè)領(lǐng)先的專業(yè)分析軟件:
a) 臺階高度
b) 表面粗糙度
c) 多區(qū)域測量
d) 彎曲測量
e) 角度測量
f) 厚膜分析軟件包-適用透明、半透明厚膜厚度及膜表面粗糙度分析
g) 光學(xué)軟件包-應(yīng)用于光學(xué)級表面表征
h) 數(shù)據(jù)存儲制造業(yè)軟件包-適用于硬盤部件的測量檢測
8. 可測量各種復(fù)雜形狀樣品。
二、 性能參數(shù)指標介紹:
1.工作條件:
電源:220V,1500W
環(huán)境溫度:10℃~35℃
環(huán)境濕度: 10%~85%
2. 儀器尺寸:172cm H x 77cm D x 81cm W
3. 最大樣品尺寸:H = 350mm ; D = 304mm; W = 304mm
4. 最大樣品重量:50kg
5. 垂直分辨率:<0.15nm;(可測量出亞納米級的表面結(jié)構(gòu))。
6. RMS重復(fù)性:0.03nm;(在測量超光滑平面的時候,多次測量的重復(fù)性非常好)。
7. 臺階高度測量的精度:0.5%;(對高度測量的精確度可控制在0.5%以內(nèi))。
8. 臺階高度測量的重復(fù)性:<0.12% 1σ;(對高度測量的重復(fù)性可控制在0.12%以內(nèi))。
9. 光學(xué)分辨率:0.49um;(在使用50倍物鏡的情況下,可分辨的最小尺寸為0.49um)。
10. 最大掃描速度:28.1um/s;(縱向掃描的速度可達28.1um/s)。
11. 垂直方向最大掃描范圍:10mm,全量程閉環(huán)控制,無需縫合。(縱向最大的掃描長度為10mm,并且此測量為閉環(huán)控制測量,保證了測量的準確性)。
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