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      Imprint Nano納米壓印
      最后更新:2011-07-12
      關(guān) 注 度:2370
      生產(chǎn)企業(yè):上海納騰儀器有限公司
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      產(chǎn)品詳細(xì)介紹儀器簡介: 
       
      納米壓印的技術(shù)與工藝特點,獨創(chuàng)性地設(shè)計和制備工作于低真空環(huán)境下,結(jié)合正負(fù)壓可控調(diào)節(jié)并利用壓縮空氣作為壓印驅(qū)動力的,通過壓力傳導(dǎo)裝置、緩沖與勻壓、壓力調(diào)節(jié)控制裝置等手段實現(xiàn)平穩(wěn)可靠可控的壓印過程,借助于多種靈活的自動調(diào)節(jié)裝置的巧妙設(shè)計與運用,實現(xiàn)壓印中的自動找平調(diào)控,以保證模板納米圖案均勻精確的大面積復(fù)制轉(zhuǎn)移。

       


       


      --------------------------------------------------------------------------------

      技術(shù)參數(shù):

      YPL-NIL-SI400納米壓印系統(tǒng): 

      溫度范圍從室溫到350攝氏度; 
      壓力范圍從0到20個PSI(在4英寸晶元上); 
      紫外曝光系統(tǒng); 
      真空范圍從1個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓到0.1帕; 
      水冷系統(tǒng); 
      樣品尺寸直徑最大4英寸; 
      PLC遠(yuǎn)程控制,帶觸摸屏; 
      手動裝載樣品和模板; 
      自帶機器控制軟件; 
      在軟件控制下可實現(xiàn)自動增加和釋放壓力; 
      可定制更大樣品尺寸或更大壓力系統(tǒng)的納米壓印機。  


      --------------------------------------------------------------------------------

      主要特點:

       該納米壓印機利用紫外曝光或者熱壓固化實現(xiàn)壓印圖案在壓印高分子膠層中的復(fù)制,并通過各項功能與過程參量的優(yōu)化與篩選,通過遠(yuǎn)程PLC控制系統(tǒng)結(jié)合觸摸屏單元,實現(xiàn)納米壓印全過程的實時監(jiān)控與全自動化控制

      上海納騰儀器有限公司
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