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硅片腐蝕機(jī) 最后更新：2010-12-27 關(guān) 注 度：1351 生產(chǎn)企業(yè)：北京宏盛達(dá)業(yè)科技有限公司 在線詢價留言 與企業(yè)聯(lián)系時請告知該信息來自教育裝備網(wǎng)！ 分享到： 更多 產(chǎn)品詳細(xì)介紹   硅片腐蝕機(jī)技術(shù)特點(diǎn): 概述：硅片腐蝕機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝中對硅片周邊進(jìn)行濕法化學(xué)腐蝕形成均勻一致的斜角，本硅片腐蝕機(jī)設(shè)備技術(shù)先進(jìn)，適用于規(guī)模生產(chǎn)。 本設(shè)備是由電氣控制，機(jī)架，箱體，清洗槽，機(jī)械手，伺服系統(tǒng)，層流凈化，管路部分組成。 清洗槽是由去離子水洗槽，有機(jī)溶劑槽，酸槽，或堿槽構(gòu)成。 硅片腐蝕機(jī)管路部分為保證工作介質(zhì)的潔凈和避免雜質(zhì)析出，特采用進(jìn)口氣動閥，PFA,PVDF,管道，全氟循環(huán)系統(tǒng)。 除裝片和取片外，其余工藝均可自動完成。 電控部分：人機(jī)界面為觸摸屏，方便美觀。

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