1.掃描系統(tǒng)：
   1.1 掃描模式：STM恒流/恒高模式，I-Z/I-V曲線測(cè)量
   1.2 最大掃描范圍：6μm*6μm，單一多量程自適應(yīng)掃描器不更換技術(shù)，單個(gè)掃描器可達(dá)HOPG原子分辨 精度（科研用STM可選配50/100微米大量程掃描器）
   1.3 分辨率：X-Y向0.1nm；Z向0.01nm；HOPG原子定標(biāo)，單一多量程自適應(yīng)掃描器不更換技術(shù)
   1.4 樣品臺(tái)尺寸：直徑≤Φ40mm，厚度≤15mm，重量≤15g
   1.5 探針識(shí)別：自動(dòng)識(shí)別當(dāng)前針尖類型，軟硬件自動(dòng)切換到相應(yīng)的工作模式，無(wú)需人工干預(yù)。
   1.6 探針保護(hù)：獨(dú)特設(shè)計(jì)的針尖保護(hù)技術(shù)，包括自動(dòng)進(jìn)針保護(hù)和平滑移動(dòng)保護(hù)，能有效降低樣品對(duì)針尖的損傷，使儀器長(zhǎng)時(shí)間保持高分辨圖像。
   1.7 探針趨近：高精度高速伺服電機(jī)，控制針尖自動(dòng)逼近樣品，行程<30mm，步長(zhǎng)<23nm
   1.8 樣品移動(dòng)：手動(dòng)精密機(jī)械二維移動(dòng)平臺(tái)（移動(dòng)范圍5mm×5mm，精度3μm）。
   1.9 納米加工：矢量刻蝕功能 ，圖形刻蝕功能
               
2.控制系統(tǒng)：
   2.1 控制/采集精度：采用32位ARM技術(shù)，雙16位掃描/采樣差分同步獨(dú)立高壓放大專利技術(shù)，16通道雙16 位A/D（精度相當(dāng)于23位）；12通道16位D/A；4通道雙16位D/A（精度相當(dāng)于23位）
   2.2 反饋方式：8通道  數(shù)字化反饋+數(shù)控模擬反饋
   2.3 高壓?jiǎn)卧��?plusmn;300V 紋波噪聲1.5mV；4通道雙16位D/A（精度相當(dāng)于23位）提供掃描器XYZ三個(gè)方向的控制電壓；可擴(kuò)展到8通道
   2.4 計(jì)算機(jī)接口：EPP模式并行口 / USB2.0接口 可選
   2.5 掃描頻率：0.1～300Hz
   2.6 掃描角度：-180?~180?連續(xù)可調(diào)
   2.7 圖像采樣點(diǎn)：128×128/ 256×256 / 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048 可調(diào)
   2.8 電流檢測(cè)靈敏度≤10pA
   2.9 預(yù)置隧道電流：1pA～50nA
   2.10 偏置電壓：-10～+10V
　
3.軟件系統(tǒng)：
   3.1 操作系統(tǒng)：Windows 98/2000/XP
   3.2 在線控制軟件：四窗口圖像界面，可觀察4個(gè)不同數(shù)據(jù)通道同步成像;系統(tǒng)智能記憶功能 : 一個(gè)參數(shù)改變，相關(guān)參數(shù)會(huì)根據(jù)系統(tǒng)經(jīng)驗(yàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)到最佳范圍；壓電陶瓷非線 性校正，曲面擬合校正，樣品傾斜校正等。
   3.3 圖像處理軟件：3D顯示，濾波處理，圖像修飾，邊緣增強(qiáng)、形態(tài)學(xué)處理、圖像格式轉(zhuǎn)換，圖像幾何變換、調(diào)色板設(shè)置等。
   3.4 數(shù)據(jù)分析軟件：粗糙度分析，顆粒度分析，剖面分析，膜厚分析、臺(tái)階分析、各種曲線統(tǒng)計(jì)/分析等。
   3.5 軟件開發(fā)模板：便于用戶進(jìn)行二次開發(fā)，完成特殊的數(shù)據(jù)處理功能。
   3.6 軟件服務(wù)包：軟件以插件方式終身享受免費(fèi)升級(jí)服務(wù)。
　
4.工作條件：
   4.1 環(huán)境溫度：0-35攝氏度
   4.2 相對(duì)濕度：0-65%
   4.3 工作電壓：220V（±10%），50Hz